Azotek krzemu
Z Wikipedii
| azotek krzemu | |
| Ogólne informacje | |
| Wzór sumaryczny | Si3N4 |
| Masa molowa | 140,28 g/mol |
| Wygląd | szary bezwonny proszek |
| Identyfikacja | |
| Numer CAS | 12033-89-5 |
| Właściwości | |
| Gęstość i stan skupienia | 3,44 g/cm3 ; ciało stałe |
| Rozpuszczalność w wodzie | nierozpuszczalny |
| Temperatura topnienia | 1 900 °C (2 173,15 K; rozkład) |
| Podobne związki | |
| Podobne związki | ditlenek krzemu, węglik krzemu |
| Jeżeli nie podano inaczej, dane dotyczą warunków standardowych (25°C, 1000 hPa) |
|
Azotek krzemu - (Si3N4) – nieorganiczny związek chemiczny – azotek krzemu na IV stopniu utlenienia.
Azotek krzemu jest w pewnym sensie bardziej gęsty niż SiO2. Dlatego może maskować powierzchnię krzemu przed wieloma zanieczyszczeniami lub domieszkami, przed którymi SiO2 nie chroni, np. jonami Na+ i H+ mającymi szkodliwy wpływ na stabilność przyrządów półprzewodnikowych. Najczęściej wytwarza się warstwę Si3N4 metodami chemicznymi: przez rozpylanie katodowe lub osadzanie z fazy lotnej. Do wad należą: trudności związane z obróbką fotochemiczną tych warstw i gorsze właściwości elektrofizyczne obszaru granicznego Si3N4-Si niż SiO2.
Azotek krzemu jest też składnikiem sialonu.
[edytuj] Źródła
- Wiesław Marciniak, Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone, Warszawa 1987, WNT, ISBN 83-204-095-X, str. 71
