Масс-спектрометрия вторичных ионов
Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Масс-спектрометрия вторичных ионов (англ. Secondary-Ion Mass Spectrometry, SIMS) — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии.
Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ.
Сущность метода: Проба облучается пучком первичных ионов (например Xe+, Cs+, Ga+) с энергией от 100 эВ до нескольких кЭв (большая энергия используется в методе FAB). Образующийся в результате пучок вторичных ионов анализируется с помощью масс-спектрометра.
Выход вторичных ионов составляет 0,1-0,01 %.
Разновидности: Различают статический и динамический режимы SIMS.
Статический режим: Используется небольшой поток ионов на единицу поверхности (< 5нА/см²). Таким образом исследуемая поверхность остается практически невредимой. Применяется для исследования органических проб.
Динамически режим: Поток первичных ионов большой (порядка мкА/см²), поверхность исследуется последовательно, со скоростью примерно 100 ангстрем в минуту. Режим является деструктивным, и, следовательно, подходит больше для элементного анализа. Эрозия пробы позволяет получить профиль распределения веществ по глубине.
 |
В этой статье не хватает ссылок на источники информации.
Информация должна быть проверяема, иначе она может быть поставлена под сомнение и удалена.
Вы можете отредактировать эту статью, добавив ссылки на авторитетные источники. |
