Τεχνική Μικροσυστημάτων
Από τη Βικιπαίδεια, την ελεύθερη εγκυκλοπαίδεια
Μικροηλεκτρομηχανικά Συστήμτα (ΜΗΜΣ) είναι η τεχνολογία των πολύ μικρών, και συγχωνεύεται στα νανομεγέθη στα "Νανοηλεκτρομηχανικά Συστήματα" (ΝΗΜΣ) και στη Νανοτεχνολογία. Στην Ευρώπη, τα ΜΗΜΣ συναντώνται συνήθως ως Τεχνολογία Μικροσυστημάτων. Δεν πρέπει να μπερδεύονται με το υποθετικό όραμα της Μοριακής Νανοτεχνολογίας ή των Μοριακών Ηλεκτρονικών.
Οι εταιρείες με ισχυρή παρουσία στον τομέα των ΜΗΜΣ έχουν διάφορα μεγέθη. Οι μεγαλύτερες εταιρείες ειδικεύονται στην κατασκυή μεγάλων ποσοτήτων φθηνών εξαρτημάτων or packaged solutions for end markets όπως αυτοκίνητα, βιοϊατρική και ηλεκτρονικά. Οι επιτυχημένες μικρές εταιρείες provide value in innovative solutions and absorb the expense of custom fabrication με υψηλά περιθώρια κέρδους. In addition, και οι μεγάλες και οι μικρές εταιρείες κάνουν έρευνα ώστε να εξερευνήσουν τεχνολογίες ΜΗΜΣ. Η πολυπλοκότητα και η απόδοση των προηγμένων αισθητήρων που βασίζονται στα ΜΗΜΣ παριγράφονται με βάση τις διαφορετικές γεννιές αισθητήρων ΜΗΜΣ.
Μερικές εφαρμογές είναι οι ακόλουθες:
- Εκτυπωτές ψεκασμού, οι οποίοι χρησιμοποιούνε πιεζοηλεκτρικό ψεκασμό ή ψεκασμό φούσκας (bubble) για να αφήσουν μελάνι στο χαρτί.
- Αισθητήρες επιτάχυνσης σε σύγχρονα αυτοκίνητα για την ενεργοποίηση των αερόσακων σε περίπτωση σύγκρουσης.
- Γυροσκόπια ΜΗΜΣ χρησιμοποιούνται σε μοντέρνα αυτοκίνητα and other applications to detect yaw; e.g. to deploy a roll over bar or trigger dynamic stability control.
- Αισθητήρες πίεσης π.χ. αισθητήρες πίεσης ελαστικών, και αναλώσιμους αισθητήρες αρτηριακής πίεσης.
Πίνακας περιεχομένων |
[Επεξεργασία] Υλικά ΜΗΜΣ
Η τεχνολογία των ΜΗΜΣ μπορεί να πραγματοποιηθεί χρησιμοποιώντας έαν αριθμό διαφορετικών υλικών και τεχνικές κατασκευής, η επιλογή των οποίων θα εξερτηθεί από τη συσκευή που θα κατασκευαστεί και τον τομέα της αγοράς μέσα στον οποίο πρέπει να λειτουργήσει.
[Επεξεργασία] Πυρίτιο
Το Πυρίτιο είναι το υλικό που χρησιμοποιείται στη δημιουργία σχεδόν όλων των ολοκληρομένων κυκλωμάτων που χρησιμοποιούνται στα καταναλωτικά ηλεκτρονικά στο σύγχρονο κόσμο.
[Επεξεργασία] Πολυμερή
[Επεξεργασία] Μέταλλα
Μέταλλα μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στην κατασκευή κομματιών ΜΗΜΣ. Παρόλο που δεν έχουν κάποια από τα πλεονεκτήματα του πυριτίου, όσον αφορά τις μηχανικές ιδιότητες, όταν χρησιμοποιούνται μέσα στα όριά τους, τα μέταλλα μπορούν να φανούν πολύ αξιόπιστα.
Τα μέταλλα μπορούν να deposited με electroplating, evaporation, και sputtering processes.
Συνήθως χρησιμοποιούμενα μέταλλα είναι ο Χρυσός, το Νικέλιο, το Αλουμίνιο, το Χρώμιο, το Τιτάνιο, το Tungsten, η Πλατίνα, και το Ασήμι.
[Επεξεργασία] Μέθοδοι επεξεργασίας ΜΗΜΣ
[Επεξεργασία] Επεξεργασία Καθίζησης
[Επεξεργασία] Φωτολιθογραφία
[Επεξεργασία] Επεξεργασία Σκαψίματος
[Επεξεργασία] Βρεγμένο Σκάψιμο
[Επεξεργασία] Σκάψιμο με αντιδρόντα ιόντα
[Επεξεργασία] Βαθύ Σκάψιμο με αντιδρόντα ιόντα
[Επεξεργασία] Μικρομηχανική σε μεγάλες ποσότητες
[Επεξεργασία] Εργαστήρια ΜΗΜΣ and Vendors
- U. C. Berkeley Sensor and Actuator Center
- The MEMS and Nanotechnology Exchange - A MEMS resource, fabrication and design company
- MEMS laboratory at Carnegie-Mellon
- Sensirion Inc., MEMS sensor manufacturer
